隨著小島不斷成長(zhǎng),，小島間距離逐漸減小，*相鄰小島可相互結(jié)合并成為一個(gè)大島,，如圖5一10所示,。小島合并長(zhǎng)大后，在基片表面上占據(jù)面積減小,，表面能降低,，基片表面上空出的地方可再次成核。島的合并與固相燒結(jié)相類似,。假設(shè)兩個(gè)小島都是半徑為r的球形,，結(jié)合部曲率半徑為r'，小島接觸后經(jīng)歷時(shí)間為t,，它們之間的關(guān)系可用下式表示:

式中V是原子體積,，n是吸附原子在島上的表面密度,，D是吸附原子擴(kuò)散系數(shù),是表面自由能，n和m為常數(shù),，k是玻耳茲曼常數(shù),，T是*溫度。