除了制備條件之外,，材料形成非晶態(tài)的能力主要取決于其化學(xué)成分。一般來說金屬元素不容易形成非晶態(tài)結(jié)構(gòu),。這是因為金屬原子間的鍵合不存在方向性,，因而要抑制金屬原子間形成有序排列，需要的過冷度較大,。合金或化合物形成非晶態(tài)結(jié)構(gòu)的傾向明顯高于單一組元,，因為化合物的結(jié)構(gòu)一般較復(fù)雜，組元間在晶體結(jié)構(gòu),、點(diǎn)陣常數(shù),、化學(xué)性質(zhì)等方面存在一定差別，而不同組元之間的相互作用又大大抑制了原子的擴(kuò)散能力,。在單一組元之中,，Si,Ge,C,S等非金屬元素形成非晶態(tài)結(jié)構(gòu)的傾向性較大。這是因為這類元素形成共價鍵的傾向大,，只要近鄰原子配位滿足要求,，非晶態(tài)與晶態(tài)物質(zhì)之間的能量差別較小。例如,，在有氫存在的條件下,，Si原子將形成大量的H鍵，因而在800K沉積出的Si薄膜仍可能具有非晶態(tài)結(jié)構(gòu),。