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全固態(tài)絕緣的平板型多層薄膜開關(guān)

    如圖I,,所研制的平板型薄膜開關(guān)的結(jié)構(gòu)與兩電極的氣體開關(guān)結(jié)構(gòu)相似,由兩個(gè)圓柱型的電極2和3組成,,兩個(gè)電極之間采用一層或多層(兒微米或幾十微米厚的)薄膜絕緣,。通過(guò)調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)4可以將兩個(gè)電極之間的絕緣薄膜緊壓在一起。開關(guān)的機(jī)械觸發(fā)部分由電磁鐵,、復(fù)位彈簧,、絕緣桿和觸發(fā)針組成。其中觸發(fā)針采用耐沖擊并具有一定硬度的皮青銅材料加工而成,,可在復(fù)位機(jī)構(gòu)的作用下復(fù)位,。
    平板型薄膜開關(guān)的總電感主要來(lái)源于開關(guān)電極及其與平板型Blumlein傳輸線連接的過(guò)渡部分的電感,其總電感值<10 nH.o