連續(xù)金屬膜含的各種微缺陷使它在導電性質(zhì)上與塊狀金屬有較大差異,，從而形成了以下幾個特點:
    (1)薄膜電阻率與薄膜厚度有密切關(guān)系，電阻率隨膜厚的增大逐漸減小并趨于穩(wěn)定值,。薄膜電阻率始終大于塊狀金屬電阻率,。
    (2)薄膜電阻率的溫度系數(shù)，霍耳系數(shù),、熱電勢都與膜厚有關(guān),。
    (3)薄膜電阻率隨薄膜晶粒尺寸的增加逐漸減小并趨于穩(wěn)定值。
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