薄膜開關(guān)薄膜表面粗糙度檢測(cè)
 1測(cè)試原理
    薄膜表面存在微小的凹凸不平的表面,，利用儀器的觸針(或探頭)在薄膜表面移動(dòng),，從而測(cè)出薄膜的表面粗糙度Ra.
 2試驗(yàn)儀器和用品
    a)能滿足薄膜試樣的平均粗糙度側(cè)試范圍及精度要求的表面粗糙度測(cè)試儀器均可使用，儀器誤差不大于士10%.
    b)丙酮少許及端部包有脫脂棉花的棉簽.
 3試樣制備
    從樣品上縱,、橫向各取三塊試樣,，其尺寸以能完全覆蓋與儀器配套的測(cè)試小平面為準(zhǔn).試樣表面必須潔凈，無損傷,、褶皺,。
 4試驗(yàn)步驟
    用棉簽蘸上丙酮清洗儀器的測(cè)試平面.將試樣放在儀器的測(cè)試平面上，試樣要完全貼緊平面,，無氣泡存在,。試樣的被測(cè)試面朝向測(cè)試指針，讀出3塊試樣縱,、橫向各六個(gè)Ra的數(shù)值.
 5結(jié)果的計(jì)算與表示
    薄膜的表面粗糙度以三個(gè)試樣的六個(gè)Ra的算術(shù)平均值表示,，單位為5m.