采用適當?shù)慕饘儆袡C化合物溶液水解的方法,，也可獲得所需的氧化物薄膜,。這種濟液水解鍍膜方法的實質(zhì)是將某些III、IV,、V族元素合成烴氧級化合物,，以及利用一些無機類如氧化物、硝酸鹽,、乙酸鹽等作為鍍膜物質(zhì),，將這些成膜物質(zhì)溶于某些有機溶劑，如乙酸丙酮或其他的有機溶劑中成為溶膠,，采用浸漬和離心甩膠等方法將溶液涂覆于基體表面,，因發(fā)生水解作用而形成膠體膜，然后進行脫水而凝結(jié)為固體薄膜,。膜厚取決于溶液中金屬有機化合物的濃度,、溶膠液的溫度和黏度、基片的旋轉(zhuǎn)速度,、角度以及環(huán)境溫度等,。
   溶膠一凝膠工藝的主要步驟為:先將金屬醇鹽溶于有機溶劑中，然后進行脫水而加入其他組分(可為無機鹽形式,，只要加入后能互相混溶即可,，制成均質(zhì)溶液，在一定溫度下發(fā)生水解聚合反應,，形成凝膠,。其主要過程包括以下的水解聚合反應:

   采用溶膠一凝膠法制備薄膜具有多組分均勻很合、成分易控制,、成膜均勻,、能在較大面積上制備較薄的薄膜、成本低,、周期短,、易于工業(yè)生產(chǎn)等優(yōu)點。目前已用于制備TiO2,、Al2O3,、SiO3、BaTiO3,、PbTiO3,、PZT,、PLZT等薄膜。