隨著小島不斷成長，小島間距離逐漸減小,，*相鄰小島可相互結合并成為一個大島,，如圖5一10所示,。小島合并長大后，在基片表面上占據(jù)面積減小，表面能降低,，基片表面上空出的地方可再次成核,。島的合并與固相燒結相類似。假設兩個小島都是半徑為r的球形,，結合部曲率半徑為r',，小島接觸后經(jīng)歷時間為t，它們之間的關系可用下式表示:

式中V是原子體積,，n是吸附原子在島上的表面密度,，D是吸附原子擴散系數(shù),是表面自由能，n和m為常數(shù),，k是玻耳茲曼常數(shù),，T是*溫度。