非晶薄膜的生長特性
非晶態(tài)是一種近程有序結(jié)構(gòu),。就是在2個一3個原子距離內(nèi)原子排列是有秩序的,大于這個距離其排列是雜亂無規(guī)則的,。例如,,非晶硅的每個原子仍為四價共價鍵,并且與最近鄰原子構(gòu)成四面體,,仍是有規(guī)律的,。非晶態(tài)的另一個特點是,其自由能比同種材料晶態(tài)的自由能高,,即處于一種亞穩(wěn)態(tài),,有向平衡態(tài)(穩(wěn)定態(tài))轉(zhuǎn)變的趨勢。但是從亞穩(wěn)態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)樽杂赡艿偷钠胶鈶B(tài),,必須克服一定的勢壘,。因此,非晶態(tài)及其結(jié)構(gòu)具有相對的穩(wěn)定性,。這種相對穩(wěn)定性直接關(guān)系著非晶態(tài)材料的使用壽命和應(yīng)用,。典型的非晶態(tài)材料是玻璃,此外,,由蒸發(fā),、濺射,、CVD等方法在基片溫度較低時制得的許多薄膜都屬于非晶態(tài)。