除了制備條件之外，材料形成非晶態(tài)的能力主要取決于其化學(xué)成分,。一般來(lái)說(shuō)金屬元素不容易形成非晶態(tài)結(jié)構(gòu),。這是因?yàn)榻饘僭娱g的鍵合不存在方向性，因而要抑制金屬原子間形成有序排列,，需要的過(guò)冷度較大,。合金或化合物形成非晶態(tài)結(jié)構(gòu)的傾向明顯高于單一組元，因?yàn)榛衔锏慕Y(jié)構(gòu)一般較復(fù)雜,，組元間在晶體結(jié)構(gòu),、點(diǎn)陣常數(shù)、化學(xué)性質(zhì)等方面存在一定差別,，而不同組元之間的相互作用又大大抑制了原子的擴(kuò)散能力,。在單一組元之中，Si,Ge,C,S等非金屬元素形成非晶態(tài)結(jié)構(gòu)的傾向性較大,。這是因?yàn)檫@類元素形成共價(jià)鍵的傾向大,，只要近鄰原子配位滿足要求，非晶態(tài)與晶態(tài)物質(zhì)之間的能量差別較小,。例如,，在有氫存在的條件下,，Si原子將形成大量的H鍵,，因而在800K沉積出的Si薄膜仍可能具有非晶態(tài)結(jié)構(gòu)。