薄膜結(jié)構(gòu)與沉積原子的人射方向也有關(guān),。原子人射角的大小對薄膜結(jié)構(gòu)有很大影響,，使薄膜產(chǎn)生各向異性。隨著結(jié)晶顆粒的增大,，而入射的沉積原子就逐漸沿著原子的人射方向長大,，于是會產(chǎn)生所謂的自身影響效應，從而使薄膜表面出現(xiàn)凹凸不平,，缺陷較多,，并出現(xiàn)各向異性。這種沿原子人射方向生長的傾向,，在人射角越大時,，表現(xiàn)得越嚴重。