薄膜在基片表面上的附著，是范德華力,、擴(kuò)散附著,、機(jī)械鎖合,、靜電引力等多種因素綜合作用的結(jié)果。如薄膜材料與基片形成化合物,，化學(xué)鍵力成為主要的附著作用力,。薄膜的附著力可分為簡(jiǎn)單附著、擴(kuò)散附著,、通過中間層附著和宏觀效應(yīng)附著等四種類型,。