在薄膜內部任一截面上,，單位截面的一側受到另一側施加的力稱為薄膜的內應力,。內應力一般用。表示,，其單位為N/m2,。用真空蒸發(fā),、濺射、氣相生長等方法制作的薄膜都有內應力,，內應力*時可達(10)9 N/m2,，過大的內應力會使薄膜開裂或起皺脫落，使薄膜元器件失效,。
    內應力可分為張應力和壓應力兩大類,。截面的一側受到來自另一側的拉伸方向的力時,，稱為張應力;而受到推壓方向的力時,，稱為壓應力。過大的張應力使薄膜開裂;過大的壓應力使薄膜起皺或脫落,，一般習慣上對張應力取正號,，對壓應力取負號。
    內應力從其起源來分,，可分為熱應力和本征應力,。在制備薄膜的過程中，薄膜和基片都處于比較高的溫度,，當薄膜制備完以后,，它與基片又都恢復到常溫狀態(tài)，由于薄膜和基片的熱膨脹系數有差別,，這樣在薄膜內部就會產生應力,，這種由熱效應產生的應力稱為熱應力。當薄膜和基片的熱膨脹系數與溫度無關時,，熱應力隨溫度作線性變化,，薄膜和基片的熱膨脹系數越接近，熱應力也就越小,。
    薄膜的形成過程中由缺陷等原因而引起的內應力稱為本征應力,。從總內應力減去熱應力就是本征應力的值。本征應力與薄膜厚度有關,。在薄膜厚度很小時,，構成薄膜的小島互不相連，即使相連也呈網狀結構,，此時的內應力較小,。隨著膜厚的增加，小島互相連接,，由于小島之間晶格排列的差異以及小孔洞的存在,，使內應力迅速增大，并出現(xiàn)*值,。膜厚進一步增加,，并形成連續(xù)薄膜時，膜中不再有小孔洞存在，此時應力減小并趨于一穩(wěn)定值,。