薄膜的電學(xué)性質(zhì)，如電阻率,、電阻溫度系數(shù),、介電常數(shù)等及其與膜厚、外加電場,、環(huán)境溫度等的關(guān)系直接決定了薄膜在各種實(shí)際應(yīng)用中的性能,。金屬薄膜、介質(zhì)薄膜,、半導(dǎo)薄膜和超導(dǎo)體薄膜的電學(xué)性質(zhì)都不一樣,。