沉積的薄膜,，經(jīng)過(guò)熱處理可以改善其結(jié)構(gòu)和性能。對(duì)于單一金屬薄膜,，經(jīng)過(guò)熱處理可使晶格排列較整齊些,。對(duì)于合金材料和氧化物材料，經(jīng)過(guò)熱處理會(huì)使各組分相互擴(kuò)散,，獲得所需的固溶體,。熱處理可以部分地消除晶格缺陷，改善薄膜熱穩(wěn)定性,，又可清除內(nèi)應(yīng)力,，增強(qiáng)薄膜與基片的附著力，同時(shí)還可消除膜層中氣體分子的吸附,，在薄膜表面生成一層氧化保護(hù)層,，從而保護(hù)膜層免受侵蝕和污染,。
    基片的表面狀態(tài)對(duì)薄膜的結(jié)構(gòu)質(zhì)量也有很大影響,。如果基片表面粗糙度低、表面清潔,，則所獲得的膜層結(jié)構(gòu)致密,，容易結(jié)晶，否則相反,，而且附著力也差,。
    真空度的高低也直接影響薄膜的結(jié)構(gòu)和性能，真空度低,，材料受殘余氣體分子污染嚴(yán)重,，薄膜性能變差，即使在高真空的情況下,，薄膜中也免不了有吸附氣體分子,，提高溫度有利于氣體分子的解吸。